華特氣體打破國外技術壟斷 獲得獲廣東專利獎金獎
2021/1/15 16:49:37 挖貝網
挖貝網 1月15日消息,由于突破高純氨氣純化關鍵技術難題,打破國外技術壟斷,華特氣體獲得第七屆廣東專利獎金獎和第二十一屆中國專利優(yōu)秀獎。佛山南海區(qū)副區(qū)長喬吉飛昨日特地向華特氣體頒發(fā)牌匾及證書。
據介紹,華特氣體獲得第七屆廣東省專利獎金獎的專利是“一種氨氣的純化系統(tǒng)”(專利號:ZL201610972516.1),該系統(tǒng)經閃蒸、多次吸附、精餾等工藝,能制取純度達99.99999%以上產品,突破高純氨氣純化關鍵技術難題)。此外,該專利能夠更好保障工作人員作業(yè)安全,生產過程節(jié)能環(huán)保,減少環(huán)境污染,有利于促進半導體行業(yè)高質量發(fā)展。
華特氣體獲得第二十一屆中國專利優(yōu)秀獎的專利是“一種三氟甲烷純化裝置及純化方法”(專利號:ZL201410159290.4),該專利可獲得純度99.999%的CHF3產品,滿足半導體行業(yè)要求,采用該專利技術的高純度三氟甲烷產品已經實現批量生產。
華特氣體一直非常重視研發(fā)和知識產權保護。截至2020年底,華特氣體母公司擁有有效專利79件,包括發(fā)明專利16件、實用新型62件和外觀設計1件。
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